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环形线锯目前,大型往复式金刚石线锯机占金刚石线锯主导地位。但往复式由于受到正反转惯性作用,线速比较低,仅是3-10m/S,效率很低,且因为往复切割,导致工件表面质量不一致环形线锯则克服了往复线锯的缺点,线速可高达60m/s,可实现生产,因此在硅晶体、工业陶瓷加工等工业领域得到推广应用,并显示出其独特的及优越性。随着半导体、光伏材料产业的发展,在硅、陶瓷、玉石、石墨模具、名贵石材等行业有着广阔的应用前景。金刚石线锯切割电镀金刚石线锯是用电镀的方法在金属丝(线)(基体)上沉积一层金属(一般为镍及镍钴合金)并在沉积的金属内固结金刚石磨料制成的一种线性超硬材料工具。与内圆切割片、金刚石带锯、游离磨料多线切割相比较,金刚石线锯切割显现出一系列优点:加工表面损伤小、挠曲变形小,片厚一致性好,可随意改变切割方向,精度佳,,寿命长等。因此,越来越受到人们的关注。高速切割设备切割行程的设置:切割行程=样品的长度5mm。为保证将样品切断,通常会在样品的实际高度之上增加5㎜。金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势,本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况,并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。当要求对样品进行开槽时,实际切割行程应与开槽深度相同,为保证停止切割时所开槽口深度达到要求,当切割行程达到设定行程时应暂停切割,但主轴带动金刚石切割线继续运行一段时间,从而使样品未达到切割深度的位置继续被切割,直到样品被切割部位每一点都达到所要求的切割深度。)
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