(1)在回风口装空气阻尼层;(2)排风管装电动密闭阀中效过滤器;(3)余压阀，一般设在洁净室下风侧墙壁，采取此种措施时要求室内须有足够的剩余风量;(4)调节回风阀或排风阀;(5)调节新风阀;(6)风机、风阀联锁控制;(7)定期更换一些必要的过滤器。微粒大小的量度通常以粒径表示。例如在表1-1中，“平均面积”显然是指所有的面积被某种量（如粒数）去平均，因此面积在分子上。但是微粒特别是灰尘粒子并不都具有球形、立方形等规则的几何外形，因此通常所称微粒的“粒径”，并不是指真正球体的直径。在气溶胶及空气洁净技术中，“粒径”的意义通常是指通过微粒内部的某个长度因次，而并不含有规则几何形状的意义。在分析微粒大小的时候，“粒径”就是指的这种含意。具体地说，粒径可分为两大类：一类是按微粒几何性质直接进行测定和定义的，如显微镜法确定的粒径。例如，在灰尘采样以后，普通光学显微镜来观测时，使灰尘标本向一个方向移动通过测微尺，此时微粒投影通过这一标尺时，为标尺刻度线所切的两端的长度就代表粒径。无尘室设计及工作环境的介绍无尘室，也称洁净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。这种快速接接头只能使用一次，当接头连接时，旋紧接头螺母的同时，管接头一方的尖刀刀刃具也将金属膜片剌破，使管道接通。更准确地讲，一个洁净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用1大颗粒大小来厘定的。低级别的洁净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气传播的灰尘。无尘室的定义：空间范围内之空气中的微尘粒子等污染物排除，而得到一个相当洁净的环境。无尘室，也称洁净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。亦即：这个环境中的微尘粒子相当少，称之为洁净室。洁净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、***等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，洁净室可以占据厂房很多位置。无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区。1—2—2平均粒径由于微粒形状极不相同，按上述方法得到的粒径对于一个微粒来说，也是不一样的这在实际应用中就很不方便。以下由立净简单介绍洁净室的处理流程：外气经由外气空调箱初步过滤微尘并控制其温湿度后，经由回风管道间，将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇或FFU带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，后经过超过滤网或过滤后，供应至Fab区。合理的控制净化车间面积？洁净空间的减少，意味着风量比、换气次数、送风动力消耗都随之降低。有时空调机组箱体内仅有粗效、中效过滤，但机组有较大的机外余压可以克服出口处装置高1效过滤器的阻力。洁净室每平方米耗能是普通空调办公楼的10~30倍。若减少洁净体积30％，可节能25％。又由于1万级洁净区电耗是10万级的2.5倍，因此，企业应按不同的空气洁净度等级要求分别集中布置，尽1大努力减少洁净室特别是高1级别洁净室的面积，同时，应使洁净度要求高的洁净室尽量靠近空调机房，以减少管线长度，降低能量损耗。减少洁净空间体积的实用技术之一是建立洁净隧道或隧道式洁净室，其可以满足生产对高洁净度环境和节能的双重要求，使洁净工艺区空间缩小到1低限度，风量大大减少。另外，还可采用洁净隧道层流罩装置，以抵抗洁净度低的操作区对洁净度高的工艺区可能存在的干扰与污染。在同样的总风量下，可以扩大罩前洁净截面积5~6倍。同时，还可通过洁净小室、洁净工作台、自净器、微环境等形式，如带层流装置的称量工作台以及带层流装置的灌封机等，实行局部气流保护，以维持该区域的高洁净级别要求，且减少洁净空间体积。)