
NR9 3000PY光刻胶价格的用途和特点「在线咨询」
光刻胶概况以下内容由赛米莱德为您提供,今天我们来分享光刻胶的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!光刻胶又称光致抗蚀剂,是光刻工艺的关键***,主要利用光化学反应将所需要的微细图形从掩模版转移到待加工基片上,被广泛应用于光电信息产业的微细图形线路的加工制作,下游主要用于集成电路、面板和分立器件的微细加工,同时在LED、光伏、磁头及精密传感器等制作过程中也有广泛应用,是微细加工技术的关键性材料。光刻胶的主要成分为树脂、单体、光引发剂及添加助剂四类。其中,树脂约占50%,单体约占35%,光引发剂及添加助剂约占15%。光刻胶的相关内容光刻胶必须满足几个硬性指标要求:高灵敏度,高对比度,好的蚀刻阻抗性,高分辨力,易于处理,高纯度,长寿命周期,低溶解度,低成本和比较高的玻璃化转换温度(Tg)。主要的两个性能是灵敏度和分辨力。感光胶的主要成分是树脂或基体材料、感光化合物以及可控制光刻胶机械性能并使其保持液体状态的溶剂。树脂在***过程中改变分子结构。感光化合物控制树脂定相的化学反应速度。溶剂使得胶能在圆片上旋转擦敷并形成薄瞙。没有感光化合物的光刻胶称为单成分胶或单成分系统,有一种感光剂的情形下,称为二成分系统。因为溶剂和其他添加物不与胶的感光反应发生直接关系,它们不计入胶的成分。在***过程中,正性胶通过感光化学反应,切断树脂聚合体主链和从链之间的联系,达到削弱聚合体的目的,所以***后的光刻胶在随后显影处理中溶解度升高。***后的光刻胶溶解速度几乎是未***的光刻胶溶解速度的10倍。而负性胶,在感光反应过程中主链的随机十字链接更为紧密,并且从链下坠物增长,所以聚合体的溶解度降低。见正性胶在***区间显影,负性胶则相反。负性胶由于***区间得到保留,漫射形成的轮廓使显影后的图像为上宽下窄的图像,而正性胶相反,为下宽上窄的图像。以上就是关于光刻胶的相关内容介绍,如有需求,欢迎拨打图片上的***电话!光刻胶的主要技术参数1.灵敏度(Sensitivity)灵敏度是衡量光刻胶***速度的指标。光刻胶的灵敏度越高,所需的***剂量越小。单位:毫焦/平方厘米或mJ/cm2。2.分辨率(resolution)区别硅片表面相邻图形特征的能力。一般用关键尺寸(CD,CriticalDimension)来衡量分辨率。形成的关键尺寸越小,光刻胶的分辨率越好。光刻胶的分辨率是一个综合指标,影响该指标的因素通常有如下3个方面:(1)***系统的分辨率。(2)光刻胶的对比度、胶厚、相对分子质量等。一般薄胶容易得到高分辨率图形。(3)前烘、***、显影、后烘等工艺都会影响光刻胶的分辨率。想了解更多关于光刻胶的相关资讯,请持续关注本公司。光刻胶分类根据化学反应机理和显影原理的不同,光刻胶可以分为负性胶和正性胶。对某些溶剂可溶,但经***后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂不可溶,经***后变成可溶的为正性胶。从需求端来看,光刻胶可分为半导体光刻胶、面板光刻胶和PCB光刻胶。其中,半导体光刻胶的技术壁垒较高。想要了解更多赛米莱德的相关信息,欢迎拨打图片上的***电话!)