***及显影设备还包括主体***机10、基板输送机构50及传送装置40。主体***机10用于先对基板S的主体进行***。传送装置40用于将来自该主体***机10的基板S传送至基板输送机构50,传送装置40例如为机械手臂。基板输送机构50用于将基板S输送至显影装置30，基板输送机构50例如为输送辊。由于该基板的长边边缘容易存在残留光阻，因此，本公开通过设置对应于基板的长边边缘的边缘***装置20，即可去除绝大部分的残留光阻。海水淡化的方法主要有两种：热法和膜法。热法包括多级闪蒸法（MSF）和多效蒸馏法（MED）。膜法包括反复渗透渗出（RO）和电渗析法/反复电渗析法（ED/EDR）。不锈钢因为具有耐侵蚀特性用在各种淡化方法的工程中。所有的淡化方法都是同样的过程。引入的海水分为两部门，一部门作处理，另一部门浓缩。处理的海水盐浓度降低而浓缩的海水盐度远高于原海水。海水淡化过程所用设备材料需具有耐侵蚀的特性。材料的选择和设计原则取决于材料的服役环境。不锈钢因为其耐侵蚀和耐用性使其成为理想的材料。成本及***风险低没有金属毛边、产品无机械加工之应力残留（没有毛刺、无凸起、两面一样光、一样平、没有镭射切割之烧结点），精密蚀刻产品开孔垂直，线条清晰；生产单价较镭射，CNC及线切割低3.产品的精密度及重复性高(±0.005mm)4.可处理精密及复杂度高的设计、产品容易修改设计5.不影响材料的物理特性，可按图红加工平面凹凸型的金属材料制品，如：文字、数字及复杂图型、图案，制造各种精密的，任意形状的通孔零件。)