检测显微镜
一般来说,就是经过改良的体视显微镜或金相显微镜。对于观察精度要求不高的物体可用体视显微镜来代替,如:观察晶元、线路板等,而对于要求高的被观察物体则要用到后者,如:半导体硅晶片、金相试样等等,由于特殊需要还可选配暗场、偏光及试样压平器等附件。)
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