净化技术的设备发展对于半导体设备来讲，净化工程技术在微电子技术中起着十分重要的作用。微电子技术的核心是集成电路，而集成电路的生产对其工艺环境和工艺流程中的净化技术和设备提出了严格的要求。我国“九五”期间大力发展以微电子为***的信息产业。光学微电子净化工程一般包括：1、洁净生产区2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)3、管理区(包括办公、值班、管理和休息)4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)。净化工程技术水平在某种意义上已成为衡量一个***和地区科学技术水平和工业水平的一个重要标志。)