早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个；（2）空气进入吸附塔前，经过脱水预处理；（3）设备可靠性差，不能连续稳定运行，导致大部分设备报废；（4）技术、经济指标落后。20世纪90年代是我国变压吸附制氧技术突飞猛进向前发展的时期，变压吸附制氧技术逐渐成熟。变压吸附制氧工艺具有以下优点：一是采用大气进气压差自动充压技术，减少鼓风机送风量，延长设备使用寿命，降低氧气制造成本。变压吸附制氧工艺具有以下优点：一是采用大气进气压差自动充压技术，减少鼓风机送风量，延长设备使用寿命，降低氧气制造成本。二是设备简单，主要设备罗茨鼓风机和真空泵运行稳定、可靠，分子筛的使用寿命在10年以上，无需维护。三是产生的氧气量及纯度可根据实际使用情况进行调节，稳定纯度可达93%，经济纯度为80%~90%;产氧时间快，一般30min以内就可以达到80%以上的纯度;单位电耗仅0.32kWh/Nm3～0.37kWh/Nm3。四是变压吸附制氧与深冷法制氧对比有以下特点：***低，流程简单，占地少，设备少，运动部件少;自动化程度高，基本可实现无人化管理;能够满足高炉富氧鼓风工艺要求。VPSA与深冷空气制氧比较现代工艺流程一直改进，VPSA制氧装置是进20多年中发展起来并被市场所接受的技术，VPSA制氧技术开发的时间将更短。早期开发的变压吸附制氧设备的共同点有以下几个方面：（1）大多采用高于大气压吸附、常压解吸流程，吸附塔有两个到四个。VPSA制氧设备流程比较简单，主要设备有鼓风机、吸附塔和一些阀门，而深冷制氧机流程复杂，主要设备包括空压机、过滤器、膨胀机、精馏塔、净化装置、一组换热器等许多装置。)