真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备;②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器;③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备;④行业:仪器、透析机;生物制品行业:材料提纯与***制备;⑤包装行业:食品、***、生物制品等包装设备;⑥真空冶金行业:真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。真空泵使用油，一般3~6个月更换一次，以免增加真空泵维修***起来的难度。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的配置。近年来,受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动,多级罗茨干泵作为核心装备之一,其研制和生产越来越受到重视。多级罗茨干泵满足了IC装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求,是很有发展前景的一种干式真空泵。其二，在非密封状态下工作，即整个系统处于漏气状态，真空泵工作，系统内的气压虽然降低，但不足以将真空泵油吸到泵腔里面润滑。但是,除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外,其设计理论和制造工艺亟待提高,尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题,制约了多级罗茨干泵研制和生产。国内外对于多级罗茨干泵的研究还停留在静态泄漏量的计算和实验上,如俄罗斯A.Burmistrov等利用角系数法建立了分子流态下罗茨泵复杂形状的泄漏通道流导系数的模型,着重在泄漏量计算中考虑了***空间内的气体返流。法国学者L.C.Valdes等推导了通过非恒定矩形截面下过渡流的流导计算,并结合KnudsenDong法则研究了非运转状态下通过气冷式罗茨干泵间隙的静态泄漏理论,并通过静态实验进行了验证。每次启动真空泵前，应用手转动或断续启动几次，将旋片真空泵内油排出真空泵外，减少启动时的阻力。国内一些学者则主要针对干泵型线和泄漏展开了理论和实验研究。罗茨泵真空泵的主要特点：1.所有规格的罗茨泵均采用风冷冷却方式，无需循环冷却水系统。2.与专用的变频器配合使用，可使泵的抽速增加百分之100。3.灌装机结构，无轴封设计，消除了故障点，泵气密性提高，更坚固耐用，可抽高纯/辐射性气体。4.带逸流阀的WSU系列可以在大气下启动，既简化了系统的控制程序，又提高了从大气压到10mbar范围内机组的抽速。5.垂直流改水平流简单方便。6.电机绕组内部安装了温度保护开关，保护电机和泵的可靠运行、此外，还有适合快速节拍抽空的WSU(H)型号，比如用于锁室应用。)