无尘车间垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般超净间，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。影响无尘车间的气流因素很多，如制程设备、人员、超净间组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。无尘车间等速采样在有速度的气流中采样，采样速度应等于气流速度，否则采样浓度将大于或小于真实浓度，即气流速度大于采样速度，采样浓度将大于真实浓度，反之，气流速度小于采样速度，采样浓度将小于真实浓度。每个测点实际获得时间Ts=Dp/Sr=1s所以，采样口的扫描速率是和上游粒子浓度穿透率、K值、采样口的口径、采样流量有着密切的关系。特别需要指出的是，如采用28.3L/min的粒子计数器和2.83L/min的粒子计数器，他们的扫描速率可以相差十倍，也就是讲，每检测一个过滤器的时间也相差十倍。3)无尘车间的单开门：800X2100mm，上做玻璃观察窗，装球型通道锁。洁净室无尘车间规范要求扫描速率为5～20mm/s(其实这个速率是应该根据具体情况可以计算调整的，一般建议采用28.3L/min的粒子计算器，扫描速率在30～5mm/s左右)。)