多轴联动数控系统的精度主要从单个伺服轴的运动控制精度和联动轴耦合轮廓精度2方面来评价。对于单个伺服轴的运动控制，当要求的运动精度达到纳米级时，传统的超精密机床传动方式在低速、微动状态下表现出强非线性特性，常规的运动控制策略已经很难保证伺服系统实现理想的纳米级随动精度。③研制出在同一干涉仪中直接实现大范围高精度纳米位移测量的新型测试计量装置。此外，多轴联动系统的轮廓误差由各伺服轴的运动误差耦合得到，耦合误差的建模及各轴相应的补偿控制量的计算都需要大量的齐次坐标变换运算，这为实际的多轴联动耦合控制器的设计带来了很大的不便。智能控制理论与方法将可能为此问题提供理想的解决方法。此外，要实现多轴联动纳米级轮廓控制精度，还有一个不可忽视的问题，即联动轴的同步问题。同步精度的高低直接影响到系统的轮廓跟踪精度。位移是和物体的位置在运动过程中的移动有关的量，位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。严格意义上的多轴伺服系统同步涉及到复杂的数控和伺服系统接口规范的制定。目前，在可以实现亚微米级加工的高ji多轴联动超精密数控机床研制方面，我国尚未取得突破性进展。至于可实现大型复杂曲面，特别是自由曲面的纳米级超精密加工的五轴联动机床，至今仍是一个世界上尚未解决的难题。善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于2015年7月份成立，公司注册资本500万，是一家集研发生产一体的高科技公司。光电式位移传感器ZLDS-N-100利用激光三角反射法进行测量，对被测物体材质没有任何要求，主要影响为环境光强和被测面是否平整。电容式传感器ZNX实际的基本包括了一个接收qiTx与一个发射qiRx，其分别都具有在印刷电路板(PCB)层上成形的金属走线。在接收qi与发射qi走线之间会形成一个电场。电容传感器却可以探测与传感器电极特性不同的导体和尽缘体。NIST科学家希望他们这种纳米级测量运动的新方法将有助于进一步小型化许多这样的微机械系统，并提高其性能。当有物体靠近时，电极的电场就会发生改变。从而感应出物体的位移变化量。纳米测量技术是利用改制的扫描隧道显微镜进行微形貌测量，这个技术已成功的应用于石墨表面和生物样本的纳米级测量。)