旋片式真空泵泵内偏心安装的转子与定子固定面相切，两个（或以上）旋片在转子槽内滑动（通常为径向）并与定子内壁相接触，将泵腔分为几个可变容积的一种旋转变容积真空泵。通常，旋片与泵腔之间的间隙用油来作为密封，所以旋片真空泵一般是油封式机械真空泵。旋片式真空泵吸气口安装有金属丝网的粗过滤器。能防止固体的外来尘粒吸入泵腔。油分离器内安装有油气分离效果的排气过渡器。停泵时，内置于吸气口的吸气阀使泵与被抽系统隔离，防止泵油返入被抽系统。泵由空气冷却。所有的泵均由直联的电动机通过弹性联轴器驱动。要拆卸真空泵，应该要这样做1．放油；2．松开进气咀法兰螺钉，拔出进气咀，松开气镇法兰螺钉，拔出气镇阀；3．拆下油箱；4．拆除止回阀开口销，拆下止回阀叶轮；5．拆除支座与泵的连接螺钉，拆下泵部装件，电机拆否视方便而定；6．松开泵盖螺钉，拆下泵盖，拉出二转子及旋片。拆下低级转子时，麻先拆下开口销。排气口冒烟一定是排气过滤器堵塞。真空泵排气过滤器是用来分离气体和油的，我们称为油雾。干式螺杆真空泵-工业COBRAIndustry干式螺杆真空泵能运行于众多工业领域。该型号展现了在无油真空技术所拥有的多年经验，采用传统轴承系统，是加工技术应用的理想之选。COBRAIndustry干式螺杆真空泵-半导体COBRASemicon干式螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及镀膜行业提供有效的解决方案。具有不同版本：DS（行业标准、气密、传统轴承系统）、BA（气密、悬挂式轴承系统、气冷型）、BC（气密、悬挂式轴承系统、水冷型）。所有这些真空泵都是专为半导体行业的复杂应用而设计的。)