无尘车间一般包括：清洁区、准清洁区、辅助区三部分，要注意它们的布置方式。外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。外窗必须是双层密封窗。内廊式：无尘车间设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都比较高，甚至和无尘车间同级。两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。非单向流洁净室：非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回；顶送下侧回；顶送顶回等。非单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高过滤器送风口顶部送风；回风的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数，实现不同的净化级别，其初***和运行费用也不同。混合流洁净室：混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到小，用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省初***和运行费。洁净室的空调负荷特点：服务于微电子和光电子的高别洁净室因工艺排风量大，所以新风量也很大，新风量一般在10~20次/h换气；因此，处理如此多新风的负荷大约为400~800W/m2；个别工艺的排风量更大，固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，是高别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。)