上海掩膜版承诺守信「在线咨询」
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!光刻工艺是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,利用***和显影在光刻胶层上刻画器件结构,再通过刻蚀工艺将掩膜上的图形转换到衬底上。原位芯片目前掌握电子束光刻,步进式光刻,接触式光刻等多种光刻技术.光刻板的应用光刻技术主要应用于半导体器件,集成电路制造过程中应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造。(顺便提一下,通常讲的菲林即film,底片或胶片的意思,感光为微小晶体颗粒)。在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticlemask,也有称为中间掩膜,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到mastermaks上,应用到实际***中的为工作掩膜(workingmask),工作掩膜由mastermask复i制过来。然后使用前面提到的显影液,溶解掉被照射的区域,这样,光掩模上的图形就呈现在光刻胶上。网点:网点是组成印刷图案的***小单位。凹版网点由于制版方式的不同,版辊上所反映的网点也有所差别:电雕雕刻网点随着网成的变化,网点的大小和深度也跟随着变化;涂布腐蚀网点随着网成的变化,只在网点大小上变化;倍缩光掩模(Reticle):当铬膜玻璃仅能局部覆盖晶圆称为倍缩光掩模,通常图型要放大4倍、5倍或10倍。激光版网点不同网成的变化一般则表现在网点深度上。)
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