根据选取的冲洗量，对易挥发介质或温度较高的介质冲洗量要适当大一些。冲洗量可以用节流闲来改变，也可以用限流孔板来控制。由于节流间没有量的概念，所以现在大多用限流孔板。按需要的冲洗量和孔板前后的压差来确定孔板的直径。换言之，孔径确定后，孔板前后的压差一定，冲洗量就确定了，无法调节。可用计算的方法近似地按孔板流量公式计算孔板的孔径，但是由于孔板结构不同，计算结果需通过实验进行修正。既然如此，直接用实验结果更为方便。所以，冲洗量”大都用实验图表查得。目前用的孔板有两种结构。一种是法兰联接的，另一种是螺纹联接的。法兰联接的孔板结构简单，拆装方便。厚度为4～5mm的圆板带有“尾巴”，以便于安装，上面打钢印，表示孔径的数值。通常用不锈钢板制造。机械密封件；用途为半导体制造设备匀胶机用。轴与设备之间存在一个圆周间隙，设备中的介质通过该间隙向外泄漏，如果设备内压力低于大气压，则空气向设备内泄漏，因此必须有一个阻止泄漏的轴封装置。原理为磁铁和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓的“O”形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的。功能为把旋转运动传递到密封容器内，实现真空密封。行业上称为“转动轴封”机械密封件（例如：滑动密封环及弹簧密封环）是机械装配件，装于机器或装置上形成平面、旋转面的密封结合，以防止高压***，抵御由于部件运动或振动等产生的压力及应力。这些密封件的结构通常十分复杂，由以下两个部分组成：（一）固定件：当将密封件装上后就成为机器或装置不可分割的组成部分；以及（二）活动件：旋转件、弹簧件等。该货品之所以称为“机械密封件”，主要是因为有上述活动件。这些密封件起抗振装置、轴承、实际封件的作用，有时还起接头的作用，其应用范围广泛，包括用于泵、压缩机、混合器、搅拌器及汽轮机。它们用不同材料制成，外形也各不相同。油封环（oilseal）是一般密封件的习惯称谓，简单地说就是润滑油的密封。在品目注释8487下有这样的解释，本品目的货品可确定为机器零件，但不能确定为任何一种机器的零件。油封环通常为圆形截面，结构相当简单（例如，一个软橡胶圈通过硫化与一增强用的金属结合在一起），其特征是没有活动部件。许多机器或设备的接口表面都用它来封闭，以防止油或气体的泄漏和尘埃等的进入。在对油封环进行归类的时候必须确认其用途与功能是否能够真正达到油封环的特征而后才能放入8487项下。)