净化工程复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域百1分百覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。再根据该工程的具体情况，同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力，综合各种因素来确定采用何种净化方案，这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。光学微电子净化工程解决方案:2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机增压风柜高1效送风口缺点：A.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;B.空调机组与空调处理机组要集中布置;C.造价较低。特点：这种方案可以是一次回风也可以是二次回风，具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。)