氦质谱检漏仪的基本原理与结构氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主品。机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。真空箱式氦检漏系统以下是科创真空为您一起分享的内容，锐诚真空公司***生产销售氦检漏设备，欢迎新老客户莅临。机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。1.1真空箱单元真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。真空箱：采用不锈钢材质制造，真空箱氦检漏设备厂家，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和ji少的藏气，提高了真空箱的抽空效率。1.2充氦气回收单元充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。1.3检漏单元真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。用氦气作为氦质谱检漏气体的原因1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)，在材料出气中也很少，氦检漏设备厂家，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，真空氦检漏设备厂家，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。2、氦的质量小(相对分子质量为4)，易于穿过漏孔。这样，电池氦检漏设备厂家，氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。真空箱氦检漏设备厂家-氦检漏设备厂家-科创真空产品由北京科创鼎新真空技术有限公司提供。北京科创鼎新真空技术有限公司（）位于北京市昌平区科技园区仁和路4号3幢321房间。在市场经济的浪潮中拼博和发展，目前科创真空在行业专用设备中享有良好的声誉。科创真空取得商盟认证，我们的服务和管理水平也达到了一个新的高度。科创真空全体员工愿与各界有识之士共同发展，共创美好未来。)