洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间，其建造和使用方式可减少房间进入的、产生的和滞留的粒子。房间内的温度、湿度、压力等其他相关参数均按要求受控（ISO14644-6）。洁净室的四大技术要素：送风至少经过三级过滤（粗效、中效和），并且过滤器应设置在系统的末端。洁净室应有足够的净化和空调的送风量。洁净室应维持必要的压力梯度（正压梯度或负压梯度）。洁净室应有合理的气流***。洁净室的电源和供配电，根据“建筑设计防火规范”和“洁净厂房设计规范”的要求。消防电源的负荷分级应符合***标准“供配电系统设计规范”的要求。消防用电的设备应采用专用的供电回路，当生产、生活用电切断时，应仍能保证消防用电，其配电设备应有明显的标志。消防用电设备的管线应满足火灾时连续供电，并且管线应有防火要求。消防应急照明灯具和疏散指示标志灯的备用电源的连续供电时间应满足实际消防要求。辅流洁净室气流***具有以下特点：1）空态时流线不交叉，流线间横向扩散比较弱，在下风向上角有非常弱的反向流，但是极弱的反向流不会影响污染气流向下风侧的排除，因而使污染物在室内的滞留时间短于非单向流洁净室的自净时间，符合洁净室气流以较短的路径排除污染空气的特性；2）静态时，在障碍物的下风侧或两侧出现涡流区，因此在辅流洁净室中应尽可能的在流向方向上有障碍物；洁净室的空调负荷特点：服务于微电子和光电子的高别洁净室因工艺排风量大，所以新风量也很大，新风量一般在10~20次/h换气；因此，处理如此多新风的负荷大约为400~800W/m2；个别工艺的排风量更大，固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大，是高别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。)