洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，无尘室，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，无尘室哪家好，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产合适湿度范围为35—45%。影响生产效率如果车间内生产环境到不到要求或不稳定，那就要停止产品的生产，停下来解决洁净达不到要求的问题，而这样一有大多到要求就要停止工作，那生产的效率肯定跟不上，完不成交货。影响产品质量车间内环境还会影响到产品的质量，例如一些集成电路、精密仪表和微型电机等产品，如果被灰尘颗粒的污染，就会对产品本身造成质量不佳，严重的直接导致产品无法使用，为了防止洁净车间的环境符合要求，就要时常进行检测，防止车间的环境洁净度达不到，而产品却批量生产出来的紧急情况。对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿方法属等温加湿过程。从确保洁净室内相对湿度的精度而言，工业无尘室，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时一般不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，电子厂无尘室，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。无尘室哪家好-无尘室-南京鲁鑫设备(查看)由南京鲁鑫净化设备有限公司提供。行路致远，砥砺前行。南京鲁鑫净化设备有限公司（）致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，与您一起飞跃，共同成功!)