涡旋真空泵的主要性能表征参数5.1.1间隙大小间隙包括轴向间隙和径向间隙。由于轴向间隙只是由设计精度、加工精度和装配精度进行控制的，也比较容易控制，在此不做过多的介绍。而径向间隙可以由式((2.11)计算得到，即e二，*R,-2*a*R.-R(5.1)5.1.2抽气速率理论抽气速率Sth是由泵的几何尺寸、转速和是否是双侧涡旋共同决定的一个反映抽气性能的参数，也叫几何抽速。假设转速为n(转/秒)，并且该祸旋泵为双侧涡旋，那么Sth可表达为下式:S1,=2仇、Vol卜(5.2)其中VII,Vo;分别为转子和定子所形成的外层完整内压缩腔和外层完整外压缩腔的容积。、实际抽速是指泵实际排出气的速率。由于涡旋无油泵存在着轴向和径向泄漏，其实际抽速S要低于理论抽速Sth，设P:为吸入口压力，P:为排气口压力，Q。为总泄漏，则〔10)S*PL=Sw*P,司t则实际抽速为gJ=J*一下了r,(5.3)5.1.3极限压力涡旋式无油真空泵的极限压力是指不进入气体长期运转，在测试罩内所能达到的稳定时的低压力，用P。表示。此时泵的实际抽速S=O，令式((5.3)中的实际抽速S=O，即可得极限压力〔10)(5.4)概述EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。应用半导体制程、真空蒸馏、真***装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2激光功能和优势适用于在0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr的压力范围下、需要超过3000m3h1/1776ft3min-1的高抽速的应用场合。它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：安静的无振动运行。牢靠且防腐蚀。***的轴封技术，处理舱中不会出现油污染防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到低。轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是***技术设备的制造商所需要的。订购信息Edwa***真空泵EH4200罗茨真空泵爱德华罗茨泵机械增压泵EH4200Industrial●EH4200IND380-415V,3-ph,50Hz,11kWA30975946●EH4200IND200V,3-ph,50Hz,11kWNRC215000●EH4200IND208-230Vor460V,3-ph,60Hz,15hpA30976982●EH4200IND200V,3-ph,60Hz,15hpNRB988000EH4200PFPE*●EH4200FX220-240Vor380-415V,3-ph,50Hz,11kWOnapplication●EH4200FX208-230Vor460V,3-ph,60Hz,15hpOnapplicationEH4200Chemical**●EH4200C230Vor460V,3-ph,60Hz,15hpA30956982●EH4200T3380-415V,3-ph,50Hz,11kWA30941935●EH4200T160380-415V,3-ph,50Hz,11kWA30979900)