CK350磁控溅射镀膜机厂家优选商家
什么是磁控溅射?磁控溅射是物***相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年***展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。想要了解更多沈阳鹏程真空技术有限责任公司的相关信息,欢迎拨打图片上的***电话!双靶磁控溅射镀膜机的特点有哪些?沈阳鹏程真空技术有限责任公司***生产、销售磁控溅射产品,以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。产品特点1:此款镀膜仪配置有两个靶枪:一个靶枪配套的是射频电源,用于非导电靶材的溅射镀膜;一个靶枪配套的是直流电源,用于导电材料的溅射镀膜2:该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜,应用非常广泛。3:该镀膜仪体积较小,且配备有触摸屏控制面板,操作方便。自动磁控溅射系统概述带有水冷或者加热(可加热到700度)功能,大到6旋转平台,可支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7Torr,15分钟内可以达到10-6Torr的真空。由于该电子的能量很低,传递给基片的能量很小,致使基片温升较低。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。带有14”立方形不锈钢腔体,4个2”的磁控管,DC直流和RF射频电源。在选配方面,350l/s涡轮分子泵,额外的磁控管和衬底加热功能。以上就是关于磁控溅射产品的相关内容介绍,如有需求,欢迎拨打图片上的***电话!)