多轴联动数控系统的精度主要从单个伺服轴的运动控制精度和联动轴耦合轮廓精度2方面来评价。2016世界机器人大会上，由哈工大机器人集团研制的具备位移反馈传感器的纳米操作机器人引发了人们的关注。对于单个伺服轴的运动控制，当要求的运动精度达到纳米级时，传统的超精密机床传动方式在低速、微动状态下表现出强非线性特性，常规的运动控制策略已经很难保证伺服系统实现理想的纳米级随动精度。此外，多轴联动系统的轮廓误差由各伺服轴的运动误差耦合得到，耦合误差的建模及各轴相应的补偿控制量的计算都需要大量的齐次坐标变换运算，这为实际的多轴联动耦合控制器的设计带来了很大的不便。智能控制理论与方法将可能为此问题提供理想的解决方法。电感式位移传感器KD5100是一种属于金属感应的线性器件，接通电源后，在开关的感应面将产生一个交变磁场，当金属物体接近此感应面时，金属中则产生涡流而吸取了振荡器的能量，使振荡器输出幅度线性衰减，然后根据衰减量的变化来完成无接触检测物体的目的。此外，要实现多轴联动纳米级轮廓控制精度，还有一个不可忽视的问题，即联动轴的同步问题。同步精度的高低直接影响到系统的轮廓跟踪精度。严格意义上的多轴伺服系统同步涉及到复杂的数控和伺服系统接口规范的制定。目前，在可以实现亚微米级加工的高ji多轴联动超精密数控机床研制方面，我国尚未取得突破性进展。至于可实现大型复杂曲面，特别是自由曲面的纳米级超精密加工的五轴联动机床，至今仍是一个世界上尚未解决的难题。)