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实现洁净度要求的通风措施编辑洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施[1]:(1)对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用或亚过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。(2)根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。(3)有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点A、无尘车间洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级。B、室内空气参数要求:(1)温湿度要求:温度一般为242℃,相对湿度为555%。(2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的i大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m3/h。(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。标准的无尘净化车间需要那些净化设备??无尘净化车间又称为无尘室或洁净室,指将一定空间范围内,不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间i主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。标准的净化车间需要那些净化设备无尘净化车间进风系统:??无尘净化车间进风系统要安装,新风过滤箱,***净化空调(***净化空调要分为初效/中效/三个过滤段)末端有送风口。有必要时还装有净化增压箱。净化车间回风系统:??无尘净化车间回风系统要安装,回风口,过滤初效器,中效回风箱。无尘净化车间缓冲区设备:??进入无尘净化车间之前***入缓冲区,缓冲区门安装电子互锁,更衣处放置洁净储衣柜,空气清新机。风淋室、货淋室及传递窗:??人和货物进入无尘净化车间须经过,风淋室,货淋室,传递窗主要传递小物品。?净化车间层流罩、洁净棚:??在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台,层流罩(FFU),洁净棚(可移式净化工作棚),自净器等。)
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