随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。这使得电容C1、C2的值一个变大、另一个变小，从而形成一个与加速度大小成正比的差动输出信号。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。电容传感器的特点电容变换器需要将所测的力学量转换成电压或电流后进行放大和处理。位移激光传感器以其独特的丈量原理，已经广泛运用于产业、航天多种领域。在有些条件下，这些力学量变化相当缓慢，而且变化范围，测量要有较高的分辨率，其他传感器很难做到高分辨率要求，而有的电容测微仪分辨率为0.01μm，大量程为100±5μm，因此一般采用电容式传感器进行检测比较适宜，这类传感器具有以下突出优点：高阻抗、小功率,因而所需的输入力很小，输入能量也很低。电容式传感器因带电极板间静电引力(约几个10-5N)，因此所需输入能量，所以特别适宜用来解决输入能量低的测量问题，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常髙，能感受0.001μm甚至更小的位移。电容式位移传感器是以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容器电容量变化的一种传感器。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。其特点是结构简单、分辨率高、工作可靠、动态响应好，可实现非接触测量，能在恶劣环境条件下工作，主要用于位移、液位等方面的测量。电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。主要类型为ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。被动式高的精度电容位移传感器：代表型号：48XX系列，88XX系列，Mini系列被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。主动式高的精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列-----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承)