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激光打孔LTCC瓷带正面的通孔开口大小与瓷带厚度无关,瓷带背面的通孔尺寸随着厚度的增加而减小。这是因为激光束的精度不够,形成的通孔呈现出圆锥形。对于一定尺寸的通孔,瓷带层越厚,通孔正面和背面的开口偏差越大,如果超过某一值将很难形成通孔。所以为了在较厚的LTCC瓷带层上形成较小的通孔,必须要把激光束调得很精细,以使通孔的内壁更平直,而不会出现圆锥形。用激光打孔技术形成的50μm以下通孔贯通性较差,形成的75μm通孔在显微镜下观察到残留物,这会影响通孔质量。微电子器件试验方法和程序:将基板垂直浸入,放在(215±5)℃熔融焊料的锡槽中,每次58,总计10次(焊料成分为63Sn37Pb的共晶焊料,焊剂为25%的松香酒精溶液)清洗,涂焊剂,被检图形应无翘皮、脱落、断裂、被熔蚀的面积不大于20%。上述3种试样均能通过耐焊性的试验检测标准,且未见被熔蚀的地方,随后将上述3种试样(新的试样)金属化层表面上放置涂有焊剂的焊片,在氮气保护下,240℃(设置值)的热台上加热保持,观察焊料对相应试样金属化层表面的熔蚀情况。LTCC电路基板与盒体的气体保护焊接方法气体保护钎焊热传导的3种方式并存、操作方便、,但是钎着率由于气体的存在而受到限制,一艘隋况下可达到75%以上,呈随机分布,对于微波电路来说,带来了很大的不确定性。为了提高钎着率,报告者采取了预先设置“凸点”的方法。凸点的材料与大面积钎焊的焊片材料相同,凸点的制作方法如图7,在相应的位置放置适量的焊膏,经过热风回流成凸点,凸点大小随基板长度而作相应变化。凸点制成以后,在盒体底部预置已清除氧化皮且与凸点成分相同的焊片,如图8那样放置,在有气体保护下的热板上加热来实现LTCC与盒体底部的大面积接地焊。)
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