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衢州光刻板免费咨询
公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!光掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。光刻掩模版通常用石英玻璃做为化学反应,选用方解石是因为其的近紫外线穿透率。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。机显时还要注意以下几点:①要定期维护显影机,以保证已***的PS版显影能正常进行。然后使用前面提到的显影液,溶解掉被照射的区域,这样,光掩模上的图形就呈现在光刻胶上。②在显影之前必须保持各传动辊清洁,若牵引辊不干净,显影时印版易粘上脏点。③如显影机有涂胶装置,一定注意胶辊要保持清洁,否则要弄脏印版。④一般情况下,阳图PS版显影液(原液)的显影能力为10m2/L。⑤上保护胶时,一定要均匀施胶,不能太厚,以免干后导致涂层龟裂和掉版。接触光刻技术中使用的掩模的表面特征图案的尺寸与实际掩模的尺寸相同。由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过***过程将图形信息转移到产品基片上。i在衬底上形成的图案是1∶1,并且以直接接近光致抗蚀剂层表面的方式***i光线;另一方面,缩微技术中使用的掩模具有表面特征图案的实际尺寸。i在衬底上形成的图案的几次通过光学系统投影模式***i光明。)