早期的超精密机床坐标测量系统采用激光干涉测量方式。激光干涉测量是一种的标准几何量测量基准，但是易受环境因素（气压、湿度、温度、气流扰动等）影响。这类因素容易影响刀具控制，从而影响工件的表面加工质量。为此，美国LLNL的LODTM坐标激光测量回路采用了真空隔离和零温度系数的殷钢坐标测量框架技术。这也是激光坐标测量方面的应用。数控车床加工厂订制服务***。现今的超精密机床坐标测量系统大多采用衍射光栅。光栅测量系统稳定性高，分辨率可达纳米级。为了进一步获得较高的位置控制特性和表面加工质量，采用DSP细分，测量系统分辨率可达A°级。为了实现光学级的确定性超精密加工，机床必须具有纳米级重复***精度的刀具运动控制品质。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因素，特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。因此，采用气浮、液浮等方式应用于轴承、导轨、平衡机构成了必然的选择。数控车床加工厂订制服务***。对LODTM机床来说，机床和工件尺寸大，受温度影响也大。在同样的切削量和线速度下，大工件的加工周期长，温度对加工精度的影响非常大。因此，LODTM机床温控要求非常高。如LLNL的LODTM机床，机床床体恒温水、液压系统控温为0.0005℃，机房空气控温为0.003℃。数控车床加工厂订制服务***。对于小型商品化的机床，温度控制要求不需太高（0.5℃）。这是因为小零件的高速加工时间短，温度影响相对较小且易控。2011年，依托于北京航空精密研究所的精密制造技术航空科技***实验室研制出Nanosys-1000数控光学加工机床。这是我国研制成功的台大型光学级加工水平的LODTM机床（图2）。数控车床加工厂订制服务***。机床坐标测量采用衍射光栅测量系统；机床采用PC与多轴运动控制器构成的开放式数控系统。机床本体、主轴采用了无脉动重力型水冷恒温；液压源采用恒温、恒压、脉动滤波技术和装置；机房设计为内外双层恒温控制：为了保证控温精度,机床运行时，内机房处于无人状态，操作人员在外恒温隔离间监控。数控车床加工厂订制服务***。超精密加工机床系统总的发展趋势是，要求更高的加工表面质量和面形精度，加工尺寸趋于极大和两个方向，同时要求复杂形面、不同材料的加工适应性等。在提高加工表面质量、面形精度方面，一方面继续提高机床的精度、稳定性，另一方面通过加工工艺进步引入复合加工功能等,如在多轴超精密自由曲面磨床上引入进动抛光等准确定性加工功能以提高表面质量和面形精度。数控车床加工厂订制服务***。)