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微孔注入法通常微孔注入法,但需要专门设备。在微通孔注入系统中,影响通孔填充质量的主要因素包括注入压力、注入时间、填充浆料黏度和LTCC瓷带和通孔填充掩模版之间的对准情况。一旦确定了适合整个制作过程的参数,就可以在几秒钟之内在LTCC生瓷带层上填充几千个通孔。关注微孔金属化的未填、过填和少填。未填是没有填入浆料的通孔,或只填了部分导体浆料。未填孔可以通过逆光看到,且有时不需显微镜的帮助。过填指通孔周围的浆料超出了通孔范围。浆料的超出量取决于孔径和孔距。少填指通孔中虽无空隙但未填满浆料,少填的通孔不能通过逆光发现。LTCC电路基板大面积接地钎焊解启林,等[7](2009)报道了LTCC电路基板大面积接地钎焊工艺设计,提出了一种提高LTCC电路基板大面积接地钎焊的钎着率及可靠性的钎焊工艺设计。在LTCC电路基板接地面设置(NiM)复合金属膜层,根据试验测试比较,其耐焊性(gt;600s)明显优于常规金属化接地层(常规要求gt;50s);在LTCC电路基板的接地面的一端预置“凸点”,通过x射线扫描图对比分析,增加“凸点”的设计提高了大面积接地钎焊的钎着率。研究表明:新的钎焊工艺设计保证了LTCC电路基板大面积接地的钎焊可靠性和一致性。钎着率的检测大面积钎焊以后,从理论上讲,焊料利用毛细现象的原理,会尽可能填充LTCC与盒体底部之问的间隙,但是由于保护气氛的存在,熔化的焊料会随机形成多个包围圈,将气体包裹在其中。钎焊界面内部如有空洞或者焊料合金在凝固时***疏松,x射线就容易穿过,这样成像的图片中就产生了白色或灰白色的亮点,为未设置“凸点”焊接工艺的x射线扫描图,箭头所制为明显焊接缺陷,钎着率大约75%,如图5(b):为设置“凸点”焊接工艺的X射线扫描图,箭头所指为轻微缺陷,钎着率为98%以上。由于“凸点”的存在,加热时人为造成LTCC基板两端的温度存在差异,随着“凸点”的缓缓坍塌,有利于盒体底部焊料与LTCC基板之间夹杂气体排除。x射线检测图片证明了气体保护下,在基板的焊接面上设计“凸点”能够提高钎着率。电容加载LTCC带通滤波器小型化研究微波滤波器是无源射频器件中重要的组成部分,用以有效控制系统的频响特性。直观表现为,在滤波器所设定的额定频率范围内,信号可以尽可能地无损通过,而在此频率范围以外,信号需要被尽可能地衰减[1]。作为系统中重要的组成部分,对于其小型化、、低成本、易集成等诸多方面的要求越来越严格。如何综合实现诸多要求的滤波器,必然成为今后研究的重要热点之一)
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