金刚石线切割设备金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。相比电镀金刚石锯线,树脂涂层的剪切模量较低,锯丝的扭切强度基本不变,更重要的是树脂结合剂金刚石锯丝制作工艺简单,生产成本低,生产效率高。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。硅片切割厂家砂浆切割设备改造为金刚线切割设备的优点是，***小，每台设备的改造费用约60万元，可有效利用现有的设备，避免原有设备的闲置与浪费。而随着微电子和光电子技术飞速发展，对半导体和光电晶体的切割加工提出更高要求。目前，该方案适用于行业内部分近期无新增硅片切割项目的硅片切割厂家。由于是在原有的砂浆线设备基础上进行改造，因此改造设备相比专用设备，其切割效率及品质成本仍存在一定的差距，且随着金刚线细线化技术的不断发展，专用设备的优势将越来越明显。线切割速度线切割过程中的速度调整：若设置的线切割速度与实际切割速度不匹配容易发生夹线，进而使金刚石线断开，切割速度的设定没有具体规定，一般根据经验选择。现在，硬脆晶体材料切割方法有金刚石圆锯切割、带锯切割、线锯切割。切割过程中当发现所选用的速度过大时可进行适当的调整，速度的大小可根据金刚石线出现弧度的速度进行调整，若切割过程中金刚石线几乎一直处于平直状态，说明所选用的切割速度还可以适当增加，直到调整到金刚石线的弧度状态一直保持不变的，说明所选用的切割速度适于材料的切割)