设备工作原理及设计特点设备组成：真空碳氢设备由清洗干燥机主体、超声波系统、真空脱气系统、循环过滤系统、机械臂系统，真空干燥系统、真空蒸馏回收系统、HC浓度监测系统、自动灭火系统及电气控制系统等。1．真空清洗工作原理：清洗剂中残存的气体较多，含气量是水的8-10倍，超声波振动子发出的高周波遇到气体（残存氧气）就会衰减，影响了超声波的精密清洗效果。超声波空化效应也难以展开，因此需要真空脱气。首先清洗篮进入清洗槽。这时气缸驱动槽盖自动关闭清洗槽，真空脱气系统启动，将槽内空气抽尽，在真空状态下可以将需要清洗的产品的狭小缝隙内气体及含在清洗剂中的气体抽出，超声波启动，摇摆装置启动，带动洗篮转动，使清洗剂可以充分进行清洗；到设定的时间后，真空释放，缸盖打开，清洗篮进入下一槽降低沸点，使碳氢清洗剂也可以实现气相清洗。使用卤代烃清洗剂的超声波清洗机，利用卤代烃清洗剂沸点低的特点，在清洗的后一步，将清洗剂加热使之产生纯净的清洗剂蒸汽，用溶液蒸汽对工件进相清洗，使溶解在清洗溶液中的油污不会残留在工件表面。由于碳氢清洗剂的沸点高于闪点，在常压状态下不可能对工件进行蒸汽清洗。真空清洗干燥机利用液体在真空状态下沸点降低的原理，通过对密封的清洗槽抽真空，使碳氢溶剂的沸点大大降低，只需将碳氢清洗剂加热到80℃左右，就可使其沸腾，实现气相清洗。全部泵组均选用隔爆型电动机，加温系统软件选用热媒油间接性加温，这样可以保证碳氢清洗剂的清理力好，并且其应用覆盖面广，经济实用好，安全性高，有利于环境保护，不毁坏大气层，合乎***部门环境保护政策***和国际公约，现阶段是国际性认可的取代ODS（毁坏大气层化学物质）的优选。话说回来，前文提到，碳氢清洗机清洗原理大部分是超声波的空化作用，再次强调说明，在这一工作压力***下，碳氢清洗设备的驱动器清洁液注入零件内外，得以使固态表层的废弃物被脱离，好似一把强大的软毛刷将零件工件表面上各部脏污侵蚀出去，另外，即使是手不能及的埋孔、管沟处废弃物也能被该碳氢清洗设备清洗整洁，这就是说空蚀的沉积作用。)