高纯供气系统厂家的行业须知「在线咨询」
气体管路控制系统作用主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易1燃易1爆气体,如氢气等,可能在设计和施工过程中稍有差异,必须加入气体回火防止器等安全控制装置。阀门是在流体系统中,用来控制流体的方向、压力、流量的装置,是使配管和设备内的介质(液体、气体、粉末)流动或停止并能控制其流量的装置。阀门是管路流体输送系统中控制部件,用来改变通路断面和介质流动方向,具有导流、截止、节流、止回、分流或溢流卸压等功能。气体管路控制系统可以用于管理控制气体供应,包括流量,压力,开关等,同时带有泄漏报警1灯功能,能够有效保护用气安全。以上是由艾明坷发表内容,如有需要,欢迎拨打图片上的***电话!电子特气系统的维护由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,因此在生产线现场的维护需要***、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且安全可靠。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,确保气柜各管路与阀门吹扫干净。检漏灵敏度:也叫有效灵敏度,指检漏仪器在***1佳工作状态下能检出的***1小漏率。(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(N2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。电子特气管道系统氦检漏检测规定1、氦检漏仪表应采用质谱型氦检测仪,其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12PSI,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(PT)受温度的影响,一般有2PSI的正负波动。想了解更多产品信息,您可拨打图片上的电话咨询!电子特气管道系统氦检漏方法特气系统气体管道氦检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。1、内向检漏法(喷氦法)采用管道内部抽真空,外部喷氦气的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。2、阀座检漏法采用阀门上游充氦气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。3、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充氦气或氦氮混合气,外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。本信息由艾明坷为您提供,如果您想了解更多产品信息,您可拨打图片上的电话咨询,艾明坷竭诚为您服务!高纯气体的输送管路系统随着微电子工业的发展,超大规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求极为严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求。2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的试验室空间,更换气瓶时不需要切断气体,保证气体的连续供应。)
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