金刚石线切割设备金刚石线切割设备成为研究和发展的主流趋势，本文介绍国外硅片切割设备研究的新进展以及国内发展状况，并介绍笔者参与研制的金刚石环形线锯机的功能、特点和设计心得体会及金刚石单线和环线切割机应用前景展望。目前，硬脆性材料，如单晶硅、多晶硅、宝石、玻璃、陶瓷等，具有优良、稳定的物理和化学性能(如耐磨损性、抗腐蚀性、电绝缘性等)，在电子、光学及其它领域得到广泛应用，特别是单晶硅、多晶硅、陶瓷材料被广泛用于太阳能光伏产业、半导体、真空电镀等高精端产业中。伴随半导体、光伏材料技术的发展，需求量不断增加，切割加工量大幅增长，由于硬脆材料硬度高、脆性大，因此加工难度较大。这是因为这些材料远没有金刚石坚硬，当金刚石线与其进行磨削时会很容易将材料磨削成颗粒进而切割。脆性材料切割?金刚石线切割机的加工优势便金刚石线切割机同时适用于导电材料和不导电材料（硬度要比金刚石线小）的切割。因此，金刚石线切割机被广泛用于各种金属和非金属及复合材料的切割，如陶瓷、玻璃、岩石、宝石、玉石、陨石、单晶硅、碳化硅、多晶硅、耐火砖、环氧板、铁氧体、PCB以及建筑材料、生物材料及仿生复合材料等，特别适用于各种高硬度、高价值、易破碎的脆性材料切割。当切割金属或混合型材料或者难于切割的陶瓷材料，切割速度要尽可能慢。线切割速度线切割过程中的速度调整：若设置的线切割速度与实际切割速度不匹配容易发生夹线，进而使金刚石线断开，切割速度的设定没有具体规定，一般根据经验选择。现在，硬脆晶体材料切割方法有金刚石圆锯切割、带锯切割、线锯切割。切割过程中当发现所选用的速度过大时可进行适当的调整，速度的大小可根据金刚石线出现弧度的速度进行调整，若切割过程中金刚石线几乎一直处于平直状态，说明所选用的切割速度还可以适当增加，直到调整到金刚石线的弧度状态一直保持不变的，说明所选用的切割速度适于材料的切割高速切割设备切割行程的设置：切割行程=样品的长度5mm。为保证将样品切断，通常会在样品的实际高度之上增加5㎜。当要求对样品进行开槽时，实际切割行程应与开槽深度相同，为保证停止切割时所开槽口深度达到要求，当切割行程达到设定行程时应暂停切割，但主轴带动金刚石切割线继续运行一段时间，从而使样品未达到切割深度的位置继续被切割，直到样品被切割部位每一点都达到所要求的切割深度。因此张紧机构也要具备飞轮一样的精度，同时要有足够的稳定性及维护性。)