Leybold莱宝真空泵的主要特点:1.莱宝真空泵浦从一大气压到终l极压力之间皆可运转使用2.在低真空压下，莱宝真空泵浦仍可保持良好的抽气速度3.莱宝真空PUMP低噪音、低震动。（2）溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。4.LEYBOLDPUMP内置出口滤心，可达99.9%的油气过滤效果5.超l强的排除水蒸气的功能6.空气冷却，经济方便lt;也可选择水冷冷却gt;7.进气口配置有止回阀，避免泵浦停止时，真空油会逆流8.结构紧凑、体积小、节省空间9.非常容易***分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。根据泵输送的介质，将公用工程使用的普通水泵、热水泵、凝水泵及废水处理系统的泵与输送药液、中间体、纯水、酸碱等工艺介质的泵区分开来。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。水环泵和其它类型的机械真空泵相比有如下优点结构简单，制造精度要求不高，容易加工。结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。但泵的重l心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵。压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。德国贝克(BECKER)真空泵类型：1.油润滑旋片式真空泵U4.20~U4.630抽速：18~638m3/h真空度：0.5~3mbar2.无油旋片式真空泵VT4.4~VT4.40KVT3.60~KVT3.140VTLF200~VTLF500抽速：4~40m3/h55~129m3/h178~498m3/h真空度：100~250mbar3.无油旋片式压力/真空泵T4.25DSK~T4.40DSKDVT3.60~DVT3.140抽速:25~137m3/h真空泵压力：--正负600mbar)