烘箱选型依据及理由因为烘箱用在光刻工艺，所以对其的洁净度要求比较高，同时用于膜的固化等工艺，保持片内的均匀性、温控系统也是要求较高。烘箱的生产厂家国内和国外都比较多，用途也是多元化的，从价格角度考虑，则把国内生产的烘箱放在首位，因为不论是***服务还是备件购买都会相对容易一些，价格很低很多。但光刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。隧道烘箱又叫流水线烘箱，一般是通过加热方式进行烘干的，没有真空烘干方式，跟流水线似的，一般可以连续工作。)