善测（天津）科技有限公司位于天津市西青学府工业区，于2015年7月份成立，公司注册资本500万，是一家集研发生产一体的高科技公司。公司借助天津大学仪器科学与技术学科及精密测试技术及仪器******实验室的资源平台和技术优势，由从事仪器领域科学研究及产品开发的***和工程师共同创立，***从事***传感器和监测系统的研发、生产、销售和服务，为航空国防、工业制造、农业环保、能源石化、科研仪器等行业提供优质的监测系统及行业解决方案。科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室在纳米级高精度检焦系统方法研究中取得新进展：提出了一种双光路光强调制光栅检焦方法，该方法利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动导致的测量误差，具有纳米量级的测量精度，在光刻领域具有很大的应用价值。相关结果发表于近期的IEEEPhotonics。随着近几年世界经济格局的变化和我国经济技术高速发展的趋势，我国的机械科学和制造系统也发生了新的变革。数字和智能化制造、微机电系统、极端制造、复杂机电系统、生物制造、绿色制造等新型机械系统、设计理念、制造工艺和技术正逐渐由概念走向成熟和工程应用，新的测量问题不断出现，测量在机械系统及制造过程的作用和地位不断提高，机械制造中测量技术的研究面临新的发展机遇和挑战。科学院光电技术研究所微电子装备总体研究室在纳米级高精度检焦系统方法研究中取得新进展：提出了一种双光路光强调制光栅检焦方法，该方法利用两光路的信号比求解硅片的离焦量，消除了光强波动导致的测量误差，具有纳米量级的测量精度，在光刻领域具有很大的应用价值。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率高的可达到纳米级）、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。通过纳米技术，可将原子级别的***输入细胞中，观察这些***对细胞的效果，以往一天才能做十个细胞的测试，现在一个小时可以测试一千个细胞。机器人通过这种微操控的形式对***进行测试，使测试的效率大大提升，并且能够让老药有一些新用法。近年来，哈工大机器人集团主要围绕智慧工厂、工业机器人、服务机器人、特种机器人四大方向进行发展。其中，纳米操作机器人、微纳牛力测试仪等产品，彰显了机器人领域的前沿技术实力。有材料科学家提出，未来的制造业或许也将是原子级别甚至是纳米级别的制造，纳米机器人的操控将会发挥非常大的作用。)