业内普遍认为，混合固态激光雷达指用半导体“微动”器件（如MEMS扫描镜）来代替宏观机械式扫描器，在微观尺度上实现雷达发射端的激光扫描方式。MEMS扫描镜是一种硅基半导体元器件，属于固态电子元件；但是MEMS扫描镜并不“安分”，内部集成了“可动”的微型镜面；由此可见MEMS扫描镜兼具“固态”和“运动”两种属性，故称为“混合固态”。固态激光雷达的优点包括了：数据采集速度快，分辨率高，对于温度和振动的适应性强；通过波束控制，探测点（点云）可以任意分布，例如在高速公路主要扫描前方远处，对于侧面稀疏扫描但并不完全忽略，在十字路口加强侧面扫描。而只能匀速旋转的机械式激光雷达是无法执行这种精细操作的。从使用的技术上，固态激光雷达分为OPA固态激光雷达和Flash固态激光雷达。固态雷达的一大优势是它能快速记录整个场景，避免了扫描过程中目标或激光雷达移动带来的各种麻烦。不过，这种方式也有自己的缺陷，比如探测距离较近。这意味着固态激光雷达没有“远shi眼”，在实际使用中不适合远程探测，而业内***坚信，全自动驾驶汽车上搭载的激光雷达至少一眼就得看到200到300米外的物体。固态激光雷达属于非扫描式雷达，发射面阵光，是以2维或3维图像为***输出内容的激光雷达。某种意义上，它有些类似于黑夜中的照相机，光源由自己主动发出。)