精密加工方法的特点是对表面层物质去除或添加的量可以作极细微的控制。但是要获得超精密的加工精度，仍有赖于精密的加工设备和的控制系统，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大规模集成电路的制版就是采用电子束对掩膜上的光致抗蚀剂（见光刻）进行曝射，使光致抗蚀剂的原子在电子撞击下直接聚合(或分解)，再用显影剂把聚合过的或未聚合过的部分溶解掉，制成掩膜。电子束曝射制版需要采用工作台***精度高达±0.01微米的超精密加工设备。精密零件加工工艺流程有车、铣、刨、磨、钳、冲压、铸造等方式。冲压：冲压采用预先制作好的模具用冲床进行冷冲加工，主要进行板金加工，即加工的素材大多都是板材，加工的效率比较高适合大批量生产。而精密五金加工工艺流程分为工程模和，连续模，工程模也叫单冲模，有的比较复杂的零件要用好几套模具，而连续模在模具的型腔将产品的形状拆分开好几个部分在一个模具中，这样冲床加工一个行程就是一个成品。高速连续冲床每分钟可以加工三四百个产品。自动化零件加工的技术要求具有什么？一：装配液压系统时允许使用密封填料或密封胶，但应防止进入系统中。二：进入装配的零件及部件，均必须具有检验部门的合格证方能进行装配。三：未注形状公差应符合GB1184-80的要求，未注长度尺寸允许偏差±0。5mm。四：规定拧紧力矩要求的紧固件，必须采用力矩扳手，并按规定的拧紧力矩紧固。五：组装前严格检查并清除零件加工时残留的锐角、毛刺和***。保证密封件装入时不被擦伤。六：零件在装配前必须清理和清洗干净，不得有毛刺、飞边、氧化皮、锈蚀、切屑、油污、着色剂和灰尘等。七：轴承外圈装配后与***端轴承盖端面应接触均匀，零件加工表面上，不应有划痕、擦伤等损伤零件表面的缺陷。)