扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或***等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，真空泵价格，它是一种多级油扩散泵。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，水环式真空泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，松原真空泵，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的***。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。泵的传动方式，真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的缺点是：a.主动轴上有三个轴承，真空泵厂家，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的***偏向电动机和齿轮箱一侧。英特瑞机电(图)、水环式真空泵、松原真空泵由沈阳英特瑞机电设备有限公司提供。沈阳英特瑞机电设备有限公司（）实力雄厚，信誉可靠，在辽宁沈阳的其它等行业积累了大批忠诚的客户。公司精益求精的工作态度和不断的完善创新理念将***英特瑞机电和您携手步入辉煌，共创美好未来！)