河南光刻胶-光刻胶生产厂家-赛米莱德(推荐商家)
光刻胶成分介绍以下内容由赛米莱德为您提供,河南光刻胶,今天我们来分享光刻胶的相关内容,希望对同行业的朋友有所帮助!光刻开始于-种称作光刻胶的感光性液体的应用。图形能被映射到光刻胶上,然后用一个developer就能做出需要的模板图案。光刻胶又称光致抗蚀剂,以智能管感光材料,在光的照射与溶解度发生变化。光刻胶成份光刻胶通常有三种成分:感光化合物、基体材料和溶剂。在感光化合物中有时还包括增感剂。根据光刻胶按照如何响应紫外光的性可以分为两类:负性光刻胶和正性光刻胶。1、负性光刻胶主要有聚酯胶和环化橡胶系两大类,前者以柯达公司的KPR为代表,后者以OMR系列为代表。2、正性光刻胶主要以重氮醌为感光化合物,以酚醛树脂为基体材料。常用的有AZ-1350系列。正胶的主要优点是分辨率高,缺点是灵敏度、而刻蚀性和附着性等较差。光刻胶的特点1、在光的照射下溶解速率发生变化,利用***区与非***区的溶解速率差来实现图形的转移;2、溶解***/溶解促进共同作用;3、作用的机理因光刻胶胶类型不同而不同;硅片模具加工如何选择光刻胶呢?注意事项:①若腐蚀液为碱性,则不宜用正性光刻胶;②看光刻机型式,若是投影方式,用常规负胶时氮气环境可能会有些问题③负性胶价格成本低,正性胶较贵;④工艺方面:负性胶能很好地获得单根线,光刻胶公司,而正性胶可获得孤立的洞和槽;⑤健康方面:负性胶为有机溶液处理,不利于环境;正性胶属于水溶液,光刻胶多少钱,对健康、环境无害。以上内容由赛米莱德为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助!光刻胶的生产步骤1、准备基质:在涂布光阻剂之前,硅片一般要进行处理,需要经过脱水烘培蒸发掉硅片表面的水分,并涂上用来增加光刻胶与硅片表面附着能力的化合物以及硅二乙胺。2、涂布光阻剂(photoresist):将硅片放在一个平整的金属托盘上,托盘内有小孔与真空管相连,硅片就被吸在托盘上,这样硅片就可以与托盘一起旋转。3、软烘干:也称前烘。在液态的光刻胶中,溶剂成分占65%-85%,甩胶之后虽然液态的光刻胶已经成为固态的薄膜,但仍有10%-30%的溶剂,容易玷污灰尘。通过在较高温度下进行烘培,可以使溶剂从光刻胶中挥发出来,从而降低了灰尘的玷污。4、***:***过程中,光刻胶中的感光剂发生光化学反应,从而使正胶的感光区、负胶的非感光区能够溶解于显影液中。正性光刻胶中的感光剂DQ发生光化学反应,变为乙烯酮,进一步水解为茚并羧酸,羧酸对碱性溶剂的溶解度比未感光的感光剂高出约100倍,同时还会促进酚醛树脂的溶解。于是利用感光与未感光的光刻胶对碱性溶剂的不同溶解度,就可以进行掩膜图形的转移。5、显影(development):经显影,正胶的感光区、负胶的非感光区溶解于显影液中,***后在光刻胶层中的潜在图形,显影后便显现出来,在光刻胶上形成三位图形。为了提高分辨率,几乎每一种光刻胶都有专门的显影液,以保证高质量的显影效果。6、硬烘干:也称坚膜。显影后,硅片还要经过一个高温处理过程,主要作用是除去光刻胶中剩余的溶剂,增强光刻胶对硅片表面的附着力,同时提高光刻胶在刻蚀和离子注入过程中的抗蚀性和保护能力。7、刻(腐)蚀或离子注入8、去胶:刻蚀或离子注入之后,已经不再需要光刻胶作保护层,可以将其除去,光刻胶生产厂家,称为去胶,分为湿法去胶和干法去胶,其中湿法去胶又分去胶和无机溶剂去胶。以上内容由赛米莱德为您提供,希望对同行业的朋友有所帮助!河南光刻胶-光刻胶生产厂家-赛米莱德(推荐商家)由北京赛米莱德贸易有限公司提供。北京赛米莱德贸易有限公司()为客户提供“光刻胶”等业务,公司拥有“赛米莱德”等品牌,专注于工业制品等行业。欢迎来电垂询,联系人:况经理。)
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