早期的超精密机床坐标测量系统采用激光干涉测量方式。激光干涉测量是一种的标准几何量测量基准，但是易受环境因素（气压、湿度、温度、气流扰动等）影响。这类因素容易影响刀具控制，从而影响工件的表面加工质量。为此，美国LLNL的LODTM坐标激光测量回路采用了真空隔离和零温度系数的殷钢坐标测量框架技术。这也是激光坐标测量方面的应用。广州精密加工订制服务***。现今的超精密机床坐标测量系统大多采用衍射光栅。光栅测量系统稳定性高，分辨率可达纳米级。为了进一步获得较高的位置控制特性和表面加工质量，采用DSP细分，测量系统分辨率可达A°级。为了实现光学级的确定性超精密加工，机床必须具有纳米级重复***精度的刀具运动控制品质。伺服传动、驱动系统需消除一切非线性因素，特别是具有非线性特性的运动机构摩擦等效应。因此，采用气浮、液浮等方式应用于轴承、导轨、平衡机构成了必然的选择。广州精密加工订制服务***。刮削一般由钳工手持操作，有平面刮削和曲面刮削两种方法。一般用碳素工具钢或轴承钢制造，后端装有木柄，刀体部分淬硬到HRC60左右，刃口经过研磨，磨损后可进行复磨。工件表面先经切削加工，刮削余量为0.05～0.4毫米。广州精密加工订制服务***。平面刮削的操作分推刮和拉刮两种。推刮主要依靠臂力和胯部的推压作用，切削力较大，适于大面积的粗刮和半精刮。拉刮仅依靠臂力加压和后拉，切削力较小，但刮削长度容易控制，适于精刮和刮花。每次刮削前，为了辨明工件误差的位置和程度，需要在精密的平板、平尺、专用检具或与工件相配的偶件表面涂一层很薄的显示剂（也可涂在工件上），然后与工件合在一起对研（来回摩擦）对研后，工件表面的某些凸点便会清晰地显示出来，这个过程称为显点。常用的显示剂是油（氧化铁或氧化铅加机械油调制）或蓝油（普鲁士蓝与蓖麻油或机械油调制）。广州精密加工订制服务***。)