激光轮廓仪原理使用三角反射法测量位移或距离，利用的是简单三角几何关系。传感器探头发出的激光点或激光线投射到被测物体表面。轮廓仪特点采用高速并行数据采集单元，硬件触发、硬件高速采样，无延1时。光线在被测物体表面漫反射后，反射光被感光器件接收（CMOS，CCD，PSD）。如果被测物体发生移动，则反射光在感光器件上的成像点会随着反射光入射探头的角度变化而相应变化。根据传感器探头的设计，激光二极管距离接收感光器件的距离是已知的。我们要得到的是从激光二极管到被测物体表面的距离。而这个距离可以通过正切定律精1确计算得来。轮廓仪助力半导体产业大发展硅晶圆的粗糙度检测在半导体产业中，硅晶圆的制备质量直接关系着晶圆IC芯片的制造质量，而硅晶圆的制备，要经过十数道工序，才能将一根硅棒制成一片片光滑如镜面的抛光硅晶圆，制备好的抛光硅晶圆表面轮廓起伏已在数纳米以内，其表面粗糙度在0.5nm左右，由于其粗糙度精度已到亚纳米量级，而在此量级上，接触式轮廓仪和一般的非接触式仪器均无法满足检测要求，只有结合了光学干涉原理和精密扫描模块的光学3D表面轮廓仪才适用。在集成电路行业，光学轮廓仪可以测量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度。但是，轮廓仪和粗糙度仪关系其实挺密切，现在有一种仪器叫做粗糙度轮廓测量一体机，就是在轮廓仪上加装了粗糙度测量模块，这样既可以测量轮廓尺寸，又可以测量粗糙度，市场上典型产品就是粗糙度轮廓仪。在结构上，轮廓仪基本上都是台式的，而粗糙度仪以手持式的居多，当然也有台式的。关于三坐标测量轮廓度及粗糙度三坐标测量机是不能测量粗糙度的，至于测量零件的表面轮廓，要视三坐标的测量精度及零件表面轮廓度的要求了，如果你的三坐标测量机精度比较高，但零件轮廓度要求不可，是可以用三坐标来代替的。具有强大的CNC功能，能进行一系列的自动化，***率的测量作业，SPC分析功能。一般三坐标精度都在2-3um左右，而轮廓仪都在2um以内，还有就是三坐标可以测量大尺寸零件的轮廓，因为它有龙门式三坐标和关节臂三坐标，而轮廓仪主要是用来测量一些小的精密零件轮廓尺寸的，加上粗糙度模块也可以测量粗糙度。)