电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)电感耦合等离子体质谱仪(简称ICP-MS)，是20世纪80年***展起来的一种新的微量(10-6)、痕量(10-9)和超痕量(10-12)元素分析技术。可测定元素周期表中大部分元素，极低的检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、精密度高、分析速度快、可提供同位素分析。ICP-MS由于在速度、灵敏度、动态范围和元素测量范围中的优势而处于的地位。能够快速测量高浓度的元素(ppb到ppm级)的特点使其成为AES的可行的替代方法。同时ICP-MS在许多痕量和超痕量元素测定中超越了石墨炉原子吸收光谱法(GFAAS)的检出能力(ppt级)。ICP-MS能测量几乎所有的样品,并且实现了一次采集完成多元素同时测定,同时提供同位素的信息。形态分析是ICP-MS发展快的领域之一,即色谱技术与ICP-MS的联用。其中ICP-MS作为检测器测定样品中元素的化学价态。这些性能有助于实现ICP-MS在所有领域的广泛应用，而且确立了ICP-MS在痕量金属检测技术中的重要地位。电感耦合等离子质谱工作原理质谱分析法主要是通过对bai样品的离子的质荷比的分du析而实zhi现对样品进行定性和定量的dao一种方法。因此，质谱仪都必须有电离装置把样品电离为离子，有质量分析装置把不同质荷比的离子分开,经检测器检测之后可以得到样品的质谱图，由于有机样品,无机样品和同位素样品等具有不同形态、性质和不同的分析要求,所以，所用的电离装置、质量分析装置和检测装置有所不同。但是，不管是哪种类型的质谱仪，其基本组成是相同的。都包括离子源、质量分析器、检测器和真空系统)