在相对湿度较高的环境中，浓缩水形的毛细管力在颗粒和表面之间形成了连接键，可以增加颗粒与硅质表面的黏附力。相对湿度小于50%时并不重要，但当相对湿度在70%左右时，就成为颗粒之间黏附的主要力量。到目前为止，在半导体无尘车间、洁净室中迫切需要适当控制的是光刻胶的敏***。由于光刻胶对相对湿度极为敏感的特性，它对相对湿度的控制范围的要求是严格的水准。实际上，相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及的尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下，光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而迅速下降。当然，改变粘性，就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59.2A。此外，在高的相对湿度环境下，由于水分的吸收，使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加容易，甚至不需要聚合改性剂，如六二硅氮烷(HMDS)。气流循环模式气流由风送入静压箱,通过过滤器进入洁净室气流循环模式气流由风送入静压箱，通过过滤器进入洁净室，再从回风初效过滤器进入回风夹道，部分回风气流和从新风初效过滤器进来的新风通过中效过滤器进入风机室，另一部分回风气流直接进入空调的进风口，空气冷却后经导流罩和冷风管进入风机室。两部分流在风机室室混合后，通过风机箱上的中效过滤器由风机送入静压箱，再经过滤器进入洁净室构成气流循环系统。从气流的循环情况可知，实际上己形成了很好的三级过滤状态。因此，洁净室的空气质量得到了可靠的保证。在此基础上调整过滤器送风口的结构和布局，配以相应的风量，就可确定洁净室的洁净形式和洁净度，以适应不同的需要。图1所示的洁净室，其两侧构成了局部100级的洁净空气主流区域，其余为万级洁净区域。基本知识首位，清洁基本原理。没有处***体先历经初效清洁，再根据空调风机开展中效清洁。中效清洁后的气体由离心风机根据管路送进清洁出风口，从而进到屋子。气旋在屋子的流动性带去室内空气质量中的浮尘、病菌等尘粒，随后根据送风百叶窗帘清除。其次，净化工程常见构造原材料。生产车间墙、顶板才通常选用50mm厚的夹心彩钢板，弧形墙脚、门、窗子等通常选用专用型空气氧化铝合金型材。路面通常选用环氧树脂自流坪环氧地坪或高級耐磨损塑胶地板，有抗静电规定的，必须采用抗静电型。送回风管道用热镀锌板做成，外界选用阻燃塑料PF聚氨酯发泡塑胶板。另一个，河南净化工程送风口一般选用不锈钢板架构，冲孔网板用喷漆铝合金板。系统软件组成。河南净化工程通常分成两个部分：清洁无尘车间和生产车间净化设备。生产车间净化设备由更衣间、风淋室、清洁间3个基础构成组成。***加强净化工程施工的控制在工程开工前，实行项目管理是提高劳动生产率和经济效益的有效途径;而加强净化工程公司成本价格管理，降低净化车间价格，更是项目管理的重中之重，它与净化工程质量一样，是企业的生命线。运用标准成本进行项目成本管理是一个非常奏效的方法。三、关键加强净化车间审计的控制净化车间的审计必须对工程项目整个施工生产活动的全过程进行审计，审计不仅要重视被审项目的事后审计及竣工审计，更要重视事前和事中审计，可使净化车间项目施工方案的编制更趋合理，并能帮助工程项目管理班子提前“把关”，有效地防止或避免可以预见的失误。)