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洁净室的无论在外部大气条件下,其可以全部具有室维持原设定的洁净度要求,温度,湿度和压力的性能特性的变化。洁净室的主要作用是控制所述植物材料(如硅芯片等)的温度和洁净空气的湿度以与气体的接触生存,所以该植物原料可以在工厂,制造,洁净室的空间中一个良好的环境也是我们所说的洁净室。净化车间静电式净化方式的缺点:可去除飘尘(不能去除气体),效能比机械式低,慢,而且易产生臭氧,此机型被美国市场评为差净化器。负离子法羟基负离子与空气中漂浮的***气体接触后,能还原来自大气的污染物质、氮氧化物、等产生的活性氧(氧自由基)、减少过多活性氧对***的危害;中和带正电的空气飘尘无电荷后沉降。洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。1级:尘埃易使芯片失效或者稳定性下降,当金属尘埃落于集成电路上时,就可能造成短路。当空气中的酸性离子落在电路上时,可能将电路腐蚀,因此净化空调系统对微电子工业而言至关重要。此外,液晶、光纤的生产也需要1级洁净度的要求。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,要选用防静电型。送回风管道一般用镀锌钢板,不宜选用玻璃棉类材料保温。照明应选用净化车间专用灯具。净化工程的步的关键是设计,工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工,还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。净化工程的等级划分比较的严格,一般按照7个等级进行的划分,分别是1级,10级,100级,1000级,10000级,100000,1000000级,净化安全要求是根据等级来实施的,净化工程等级数越小,级别是越高的,其含尘量越少,排名是靠前的。)
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