烘箱选型依据及理由因为烘箱用在光刻工艺，所以对其的洁净度要求比较高，同时用于膜的固化等工艺，保持片内的均匀性、温控系统也是要求较高。烘箱的生产厂家国内和国外都比较多，用途也是多元化的，从价格角度考虑，则把国内生产的烘箱放在首位，因为不论是***服务还是备件购买都会相对容易一些，价格很低很多。2、微电脑智慧控温仪，具有设定，测定温度双数字显、定时、功率***和自整定功能，控温准确可靠。但光刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。烘箱的***1.烘箱应安放在室内干燥和水平处，防止振动和腐蚀。2.要注意安全用电，根据琴益烘箱耗电功率安装足够容量的电源闸刀。选用足够的电源导线，并应有良好的接地线。3.带有电接点水1银温度计式温控器的烘箱应将电接点温度计的两根导线分别接至箱顶的两个接线柱上。另将一支普通水1银温度计插入排气阀中，(排气阀中的温度计是用来校对电接点水1银温度计和观察箱内实际温度用的)打开排气阀的孔。调节电接点水1银温度计至所需温度后紧固钢帽上的螺丝，以达到恒温的目的。保温层则由高密度硅酸铝棉填充，高密度硅酸铝棉保证了烘箱的保温性，也确保了使用者的安全性。但必须注意调节时切勿将指示铁旋至刻度尺外。)