万级无尘车间尘粒标准：1、尘粒***大答应数(每立方米);2、大或等于0.5微米的粒子数不得超越350000个，大或等于5微米的粒子数不得超越2000个;3、微生物***大答应数;4、浮游菌数不得超越100个每立方米;5、沉隆菌数不得超越3个每培养皿。压差：相同洁净度等级的洁净室压差保持一致，对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。无尘车间无尘车间主要作用在于控制产品所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好环境空间中生产、制造、测试、试验，提升产品质量，是污染敏感产品重要的生产保证设施。并将车间内温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，不论外在环境条件如何变化，无尘车间内均能维持设定所要求的洁净度、温湿度及压力等性能。洁净车间一般禁止及注意事项1、大家应随时取缔、纠正不合规定之人员、物品、标示等，并通知洁净车间相关主管。2、随时注意头发、口、鼻不可外露。3、将无尘衣、帽等随意置于地板上。4、在更衣室内穿、脱无尘衣，不可在其它地方为之。5、吹淋室前后两门不可同时开起。6、车间内严禁奔跑、嬉戏、喧哗、睡觉，严禁吃东西或喝饮料，应避免多人聚集在一起，以免制造微粒。无尘车间在各行业中的温度标准集成电路生产加工行业在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，引起了0.24um线性膨胀，所以须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。)