LEYBOLDOPTICSCCS系列（50至160对/8小时）视客户要求而定，可使用LEYBOLDOPTICSCCS系列镀膜机生产一或若干层（减反射层、防晒或镜面层以及滤光片）。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。其出色的生产能力得益于短抽真空时间以及准确的工序监控，这些尤为该平台的亮点。各种类型的LEYBOLDOPTICSCCS镀膜机证明了小尺寸和高生产力并非互为独占的。LEYBOLDOPTTICCCS系列包括生产解决方案，适用于中等产量的标准和离子辅助镀膜工艺。模块化设计，实现可持续发展的解决方案电子枪容量、低温制冷系统的实施或腔室内疏水性镀膜功能相关的升级选件可在日后轻松添加至LEYBOLDOPTICSCCS的基本配置。因此，客户可随着其业务增长而选择扩建其系统。适用于广泛应用的灵活系统LEYBOLDOPTICSCCS系列提供适用于每种需求选配组件阵列。有两种不同的镜片支架，自动翻转镜片支架和适用于不同镜片直径的多种标准圆片，使其适用于广泛的应用。经过验证的设计，可进行轻松维护所有LEYBOLDOPTICSCCS组件可轻松触及，因此维护简单。有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。作为所有布勒莱宝光学设备的标准，每台设备都可通过远程软件工具访问，轻松地实现离站分析和检修活动。无数参数的大量数据录入助力客户始终获得镀膜机状况的新情况，并在需要时可共享信息。LEYBOLDOPTICSCCS平台的圆柱形镀膜腔室可促进轻松维护和保护屏障的快速拆卸清洗，这又可提供增加设备运行时间的优势。?真空泵油对真空泵的影响真空泵油对真空泵的影响对于真空泵油的高度，即泵的循环油量。旋片泵的循环油量也大，密封效果就越好，极限压力就越低:但是，由于在真空泵的运转过程中，旋片泵的真空泵油中吸收的空气和水蒸气会释放出来影响其极限压力，所以循环油量并非越大越好，应有一个合适的值。油液循环量与旋片泵极限压力的关系其中，理想状态下(油液不释放空气和水燕气)循环油量与极限压力的关系，即真空泵油越大极限压力越低:FG为实际情况(主要考虑空气和水蒸气的释放)下真空泵油和极限压力的关系，随着循环油量的增加而越来越高:FN.-To为综合考虑两点因素的影响时两者的关系图，在油量处于某一特定值时，极限压力低，其后随着油量的增加而升高。真空齿轮泵工作原理属于正位移泵，导热油泵工作时依靠主、从动齿轮的相互啮合造成工作容积变化来输送熔体。随着真空泵油的升高，油液的饱和蒸汽压也随之升高，挥发的气态油液也多，大大升高旋片泵的极限压力，所以应该尽可能的降低油液的温度以降低旋片泵的极限压力。目前采用的方法主要包括对泵油实施水冷或风冷、增大散热片等。***空间对真空泵极限压力的影晌***空间的存在也会升高旋片式真空泵的极限压力.***空间是指旋片式真空泵的转子与定子在定子内腔顶端的接触点a到排气口之间的空间，如图2.9。无数参数的大量数据录入助力客户始终获得镀膜机状况的新情况，并在需要时可共享信息。这个空间内的气体在循环终结时，难以从排气口派出.在旋片继续旋转的压缩作用下，会从a点接触点的间隙溢出，从顶点溢出的气体进入吸气腔，从而升高旋片式真空泵的极限压力.可以通过对***空间填充油液或者在该空间的侧板上开导气槽(在自润滑的干式泵中采用)来解决。对于机械真空泵如旋片式真空泵应安装在清洁、干净的环境里，温度宜在15至40度范围之内。标准电压：在50Hz下230/400V在60Hz下460V10%10%-6%1。在真空泵的进气口处应安装精密过滤器，消除油蒸汽不使它污染整个系统。每次启动真空泵前，应用手转动或断续启动几次，将旋片真空泵内油排出真空泵外，减少启动时的阻力。真空泵使用油，一般3~6个月更换一次，以免增加真空泵维修***起来的难度。真空泵抽除含有可凝性蒸汽时精密过滤器。用带放气电磁阅是较好的措施，可保证停泵时即对真空泵放大气。)