从加工方法的机理、特点和传统来分类，精密和超精密加工又可分为传统加工、非传统加工和复合加工。传统加工是指刀具切削加工、固结磨料和游离磨料的磨削加工；非传统加工是指利用电能、磁能、声能、光能、化学能和核能等对材料进行加工和处理；针对不同的工业计量中的检测参数，经变换和不断的改进更新达到实现测量和控制操作的目的。复合加工是采用多种加工方法的复合作用，进行优势互补，相辅相成。当前，在制造业中，占主要地位的仍是传统加工方法。在加工精度的量级上，精密加工是指加工精度为1～0.1?μm，表面粗糙度为0.1～0.025μm的加工技术，超精密加工是指加工精度高于0.1?μm，表面粗糙度小于0.025?μm的加工技术。目前超精密加工已进入纳米级精度阶段，故出现了纳米加工及其相应的技术。制造业是国民经济的支柱产业，随着制造业的快速发展，尤其是***制造技术的出现，新工艺、新加工方法不断涌现。精密加工和超精密加工是***制造技术的重要支柱，也是提高制造技术水平的关键。当前，在制造自动化领域，进行了大量有关计算机辅助技术软件CAD、CAPP、CAM的开发，计算机集成制造技术CIM、生产模式（如精良生产、敏捷制造、虚拟制造等），以及清洁生产和绿色制造等研究，代表了当前制造技术的一个重要方面。但这绝非高新制造技术的全部，作为制造技术的主战场，仍然要靠精密加工和超精密加工技术。光学干涉显微镜测量技术，包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于F-P(Febry-Perot)标准的测量技术等。)