EM系列泵是结实耐用的机械油封泵，抽速为0.7到275m3/hr（30到206CFM）。这些泵结构紧凑，使用时非常安静，具备***的润滑回路，可靠性高，配有各种附件，可以满足特定的应用需求。所有居于地位的制程工具OEM，以及***每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。Edwa***E2M80油封式旋片真空泵爱德华真空泵Edwa***真空泵旋片泵油回转高真空泵爱德华E2M80油封式旋片真空泵Edwa***真空泵爱德华E2M80真空泵维修的（6）个流程1.确认问题（如有需要，会在24小时内排出***技术人员赶赴现场确认爱德华真空泵故障）2、取泵维修（在故障确认后精捷会给出具体维修周期、维修方案和可达到的效果并***取泵）3、拆开报价（为了让客户更清晰的知道维修费用，明胜把维修费用细分化、合理化4、确认维修（客户同意维修费用后开始维修，维修时刻现场观摩，维修后所换配件原封不动送还客户5、试机确认（确保维修过后达到真空度和稳定性能，真空度达到出厂标准）6、送泵安装（在试机OK后24小时内，客户可当初验收真空泵，看试机运转效果）7、定期维护（保修3个月内会不定期的回访，3个月后会有专门的***人员跟踪维护）)