大塚OPTM***团队在线服务“本信息长期有效”
头部集成了薄膜厚度测量所需功能通过显微光谱法测量高i精度绝i对反射率(多层膜厚度,光学常数)1点1秒高速测量显微分光下广范围的光学系统(紫外至近红外)区域传感器的安全机制易于分析向导,初学者也能够进行光学常数分析***测量头对应各种inline客制化需求支持各种自定义测量项目:绝i对反射率测量多层膜解析光学常数分析(n:折射率,k:消光系数)大塚电子(苏州)有限公司主要销售用于光学特性评价?检查的装置。其装置用于在LED、OLED、汽车前灯等的光源?照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相关材料的光学特性评价?检查。欢迎新老客户来电咨询!测量示例:SiO2SiN[FE-0002]的膜厚测量半导体晶体管通过控制电流的导通状态来发送信号,但是为了防止电流泄漏和另一个晶体管的电流流过任意路径,有必要隔离晶体管,埋入绝缘膜。SiO2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于绝缘膜。SiO2用作绝缘膜,而SiN用作具有比SiO2更高的介电常数的绝缘膜,或是作为通过CMP去除SiO2的不必要的阻挡层。之后SiN也被去除。为了绝缘膜的性能和精准的工艺控制,有必要测量这些膜厚度。膜厚测试仪的预热关机超过3个小时开机必做。点击“波数”,将波谱校准片放入仪器,将Ag部分移至十字线中间,镭射聚焦,设定测量时间为6S重复测量次数为30~50次,点击Go键,等待自动连续测量完成。如果膜厚测试仪已经进行了适当的校准,所有的测量值将保持在一定的误差范围内;根据统计学的观点,一次读数是不可靠的。因此任何由膜厚测试仪显示的测量值都是五次“看不见”的测量的平均值。这五次测量是在几分之一秒的时间内由探头和仪器完成的。)