ABBSPDSI13《厦门莫格电气自动化有限公司》我公司优势品牌众多，目前库存备货充足，随时发货，要订货的，货期短，直接国外订货，具体型号来电咨询；充足的库存、健全的网络、完善的物流、优惠的价格，只要你想要的，我们都能为你提供，随时满足您的需求。我们以最优惠的价格回报您的光临！如有未查询到型号，欢迎咨询！主营PLC可编程控制器模块，DCS卡件，ESD系统卡件，振动监测系统卡件，汽轮机控制系统模块，燃气发电机备件等，AB，ABB，GE，本特利，福克斯波罗，霍尼韦尔，西门子，ICS，英维斯，西屋，艾默生，横河，KONRAD================================================================ABBSPDSI13ABBSPDSI13ABBSPDSI13引言直拉式单晶炉是以直拉法从熔化的多晶硅熔液中生长硅单晶的电子专用设备。而等径控制是单晶炉自动控制的核心。单晶直径在生长过程中可受到温度、提拉速度与转速、坩埚跟踪速度与转速、保护气体的流速与温度等因素的影响。在忽略一些干扰因素影响情况下，单晶等径生长主要受温度和拉速影响。因此，炉内热场和生长速度的精确控制是单晶等径控制的重点，由于这种控制系统是一个缓慢时变，并且具干扰严重的非最小相位系统，用一般常规仪表控制手段来实现自动控径极为困难。本文从硬件和软件设计方面介绍了以80CI96单片机作为核心部件的单晶炉等径生长控制系统，此系统有效地实现了单晶炉的等径控制。2等径控制的原理与方法2．1系统总体结构单晶等径生长控制总体结构如图l所示。系统主要由拉速控径单元和温度控径单元组成。每个单元都包括各自独立的数据采集、PID控制模块、参数设置、工艺曲线设置、电路控制输出、与上位机串行通信等模块。在拉速控径单元中，直径测量模块以模拟电压形式将现场直径量传至单片机；单片机通过自身集成的A/D转换器将模拟电压转化为控制系统可用的数字量；单片机结合现场采集的直径与用户设定的目标直径，按照已经编程固化的增量式PID控制算法计算出实时控制量；以此控制量通过DA电路和功放电路改变输出驱动直流电机，调节拉速与埚升速度，使直径逐步稳定于用户设定的目标值。温度控制单元是为了保证单晶正常生长所需的极严格的过冷度要求(如硅单晶生长过冷度l240℃～0．5℃)，采用了欧陆818P温度控制器。在温度校正控制单元中，输入偏差信号是由晶升测速机测得的拉速与温校曲线的设定拉速相比较产生的，再由PID算法得到温度校正升温速率输出值，改变炉温达到控径的目的，同时也限制了拉速的大范围波动与变化。温度校正主要是用来补偿因单晶长度改变而引起固液交界面热稳态发生变化的。2．2系统控制算法系统采用基于增量式PID算法的控制方法，即拉速控径单元的拉速控制量和温度控径单元的升温速率量由增量式PID算法求得。增量式PID算法的输出量为△Un=Kp[(en-en-1)(T/Ti)en(Td/T)(en-2en-1en-2)]式中：en、en-1、en-2分别为第n次、n-1次和n-2次的偏差值，Kp、Ti、Td分别为比例系数、积分系数和微分系数，T为采样周期。单片机每隔固定时间T将现场采集信号与用户设定目标温度的差值带入增量式PID算法公式，由公式输出量决定拉速控径单元的拉速控制量和温度控径单元的升温速率量，后续放大电路根据这两数值决定电机转速和加热功率。在实际运行上表现为，在晶体生长过程中，晶体的直径主要受晶升速度和熔体温度的变化而变大或变小，当晶升速度增大时，晶体直径变小，反之当晶升速度减小时，晶体直径变大。当熔体温度升高时，晶体直径变小，反之当熔体温度下降时，晶体直径变大，因此，晶体直径的自动控制就是通过控制晶升速度和加热器温度而实现。鲁能DCSLN-02热电偶输入模块TC鲁能DCSLN-07开关量输出模块DOAB2098-DSD-HV030西门子6ES5-451-8MR12鲁能DCSLN-06开关量输入模块DI鲁能DCSLN-01模拟量输入模块AITOSHIBATBU268**SEMERSONIDA-JMB可编程控制器C09-24-T24R8-261丹佛斯变频器VLT5042PT5CAllenBradley1336-SN-SP4ASIEMENS6ES7353-1AH01-7BG0欧姆龙R88A-FIU-115-EPHOENIXCONTADETHERNET2TX-PACNSDVP-2APLCSIEMENS6ES7222-1EF00-0XA0JX-300XDCSSP221西门子6ES5431-8MA11CUTLERHAMMERPLCD200MID1615A施耐德Modicon公司莫迪康984系列开关量输入模块AS-B809-016SANYOPRS-4604F板卡1903733000FLOWTECAG318292-0200欧姆龙NT600M-MR641GEFANUCIC693UDR005PP1P+F倍加福齐纳栅Z954倍加福MTL5073SIEMENS6ED1053-1FG00-0BA0AB112015REV07AB1394备件：M00334955774102-418-51REV07施耐德软启动ATS46C23N施耐德软启动ATS46C25NMDSKSRS036-23FANUC发那科A87L-0001-0015MEMORYBOARDBUBBLEBMU1C31113G02西门子DCSC79451-Z1359-U9UX03045BAG01Endress+Hauser50054281GEFANUCIC693MDL740西门子6SN1111-0AB00-0AA0KUBOTAKT-C2000C安川伺服驱动器SGDB-05ADGAB1336-PB-SP2DB&R-3BP151.4OMRONC500-OD2123G2A5-OD212OUTPUTMODULECT小直流CHEETAH-11B&R4C2200.01-110智能控制模块B&R7BP708.0富士PLCNB1W40R-11、NB1-W40R-11TSX08CD12M8ATSX08CD08F6ASTSX08CD08R6ASTSX08CD12R8AS贝加莱X20AI2622+X20BM11+X20TB12KUBOTAKF-C2000-OT富士PLCNB1-P56-ACGEFANUCHE693ASC900PNOZPILZ17753安全继电器三洋伺服驱动器PY2A030A2富士PLCFPU150S-A10富士PLCNB1W24R-11SQUAREDSY/MAXCLASS8030PS35日本三木电源控制器BEH-20N电磁离合器刹车专用控制器,电源箱BachmannPLCBS214/NS214施耐德PLC170NEF11021FANUC发那科A20B-1002-0370/03A富士PLCNB1-E56-AC施耐德PLC170ADI34000ABPLC1756-IR6ICOTASCT336351.3363.01IBMQJ29P60H11342PE26579A西门子工控机硬盘127ATP112A011施耐德PLC170ADM35010FANUC发那科A06B-0141-B077IBMQD9L施耐德PLC170ADI35000KOYOplcE-05TINDRAMATCTA04.1B施耐德PLC170ADO34000IBMQJ22P60H11632PE26741FANUC发那科A20B-0008-0640FOXBOROFBM04模块P0400YEFBM4变频器驱动板PN658856P5FANUC发那科A16B-1100-0060Westinghouse16-BitRegisterInputModelNL-743RELIANCEELECTRIC0-57669-BFANUC发那科A20B-1000-0030西门子6ES7321-1BH01-0AA0配包装WESTINGHOUSENL-708INPUT24VAC/DCGEFANUCIC660BBD024/IC660EBD024/IC660TBD024RELIANCEELECTRIC0-57459-1B/61C542AWESTINGHOUSEDCSNL-732BAUMULLERBUS3-10/20-30-003/BUS-3-10/20-30-003WESTINGHOUSEDCSNL-743HRELIANCEELECTRIC0-57404-3A/57C404CBAUMULLERBUG3-35-30-B-002/BUG3-35-30-B-002RELIANCEELECTRIC57419-1B/57C419RELIANCEELECTRIC0-57404-2B/57C404BRELIANCEELECTRIC57404-3A/57C404CAB1398-PDM-020SERVODRIVERELIANCEELECTRIC57409-E/57C409B＆RWEBERWSG1004C2210.01-5104D1042.00-K02RelianceElectric57405-E/D-2715RELIANCEELECTRIC57409-J/57C409三菱伺服驱动器MR-J2S-40CP-S084西门子6ES5454-4UA12MODICONPC-E984-685MOELLEREASY205-ASIMedar917-0050SLC500WeldingModule欧陆591P电源板AH470330U001/ah470330t011三菱MDD-150SA1.5KW伺服控制器三菱MDD-250SA2.5KW伺服控制器数控配件6FC5503-0AD00-0AA0默勒DS4-340-2K2-M2.2kwNT631C-ST151B-EV2TSXPREMIUM机架上空槽盖板9成新莫迪康984系列模拟量输入模块AS-B875-1119成新ModiconAS-B872-100模拟量输出MOELLERELECTRICEBE-200INPUTMODULE24VDCDIGITAL6ES5942-7UB11西门子S56ES5-460-7LA126ES5460-7LA12ANALOGMODULEGEFANUCIC695PSA040AB40382-226-51REVBPROFIBUSINTERFACECARDSST5136-PFB-VMESIEMENSC98043-A1604-L1-5台达DOP-A57BSTDGEFANUCHE693THM809BAILEYCONTROLSIMASM-02)